内层4CCD半自动LED曝光机

光源系统：

1.光源：双面LED扫面式光源

2.解析度：3.3mil

3.寿命：交机之日起保固三年

4.均匀度：>85%

Panel规格：

1.尺寸：12"*12"至22"*25"

2.底片尺寸：24"*27"

3.厚度：0.1mm至2.0mm

曝光作业：高强度/双面曝光

对位系统：

1.CCD数量：4个

2.CCD功能：对位准度及底片涨缩检查

3.靶标形式：上底片圆点，下底片圆环

4.对准精度：±15um

机台尺寸：L2200*W1545*H2000+110mm

洁净控制：机台使用 99.97%~99.99%HEPA Filter

LED光源监控：光源保护：LED灯源灭灯及故障检知报警提示